振動(dòng)檢測(cè)傳感器主要有電渦流傳感器、速度傳感器、加速度傳感器等。
在電渦流傳感器的端部有一線圈，線圈通以頻率較高（一般為1MHz～2MHz）的交變電壓，當(dāng)線圈平面靠近某一導(dǎo)體面時(shí)，由于線圈磁通鏈穿過導(dǎo)體，使導(dǎo)體的表面層感應(yīng)出一渦流ie，而ie所形成的磁通鏈又穿過原線圈，這樣原線圈與渦流“線圈”形成了有一定耦合的互感，最終原線圈反饋一等效電感。而耦合系數(shù)的大小又與二者之間的距離及導(dǎo)體的材料有關(guān)，當(dāng)材料給定時(shí)，耦合系數(shù)與距離d有關(guān)，其函數(shù)特征為“S”型曲線，但可以選取它近似為線性的一段。所以電渦流傳感器一般用來測(cè)量金屬表面的位移變化，也稱為位移傳感器。
速度傳感器一般由內(nèi)部永久磁鐵，支撐彈簧，線圈，外殼和信號(hào)電纜構(gòu)成。一般來說，速度傳感器是直接和被測(cè)物體剛性連接在一起的；當(dāng)被測(cè)量物體發(fā)生振動(dòng)時(shí)，速度傳感器和被測(cè)物體一起運(yùn)動(dòng)，但是由于速度傳感器內(nèi)的支撐彈簧的存在，使得永久磁鐵和線圈做相對(duì)運(yùn)動(dòng)，如此一來線圈切割磁力線，速度傳感器就成了一個(gè)小型的發(fā)電機(jī)；被測(cè)物體的振動(dòng)速度越快，傳感器輸出的電壓越高，即振動(dòng)速度與輸出電壓成正比。
加速度傳感器是用來測(cè)量被測(cè)物體的振動(dòng)加速度的，加速度傳感器內(nèi)有一片壓電晶體片，加速度傳感器和被測(cè)量物體也是用螺絲連接在一起的，當(dāng)被測(cè)物體發(fā)生振動(dòng)時(shí)，由于慣性的作用會(huì)對(duì)壓電晶體片產(chǎn)生壓力使其發(fā)生形變，它的晶體面或極化面上將有電荷產(chǎn)生，所產(chǎn)生的電荷數(shù)與力的大小成正比。

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